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低温高真空泵

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(Cryogenichigh-vacuumPump),又称保温泵、冷泵、冷凝泵,它可以高速抽取各种气体,既可以为科学研究提供洁净的超高真空环境(可以达到10-9Pa的超高真空),又可提供超低温的测试环境。

它又是一种高效、耐用、应用范围很广的超高真空泵

。在保温泵技术发展的过程中最重大的突破是G-M(Gifford-McMahon)制冷循环的应用和二十世纪六十年代活性炭的应用,这种保温泵大量用于计算机芯片、半导体、平板显示、数据记录硬体和光电器件的制造过程中。

保温泵系统通常需要24h连续运转,全年365天持续工作。在日常运行中可能发生种种故障,对保温泵的制冷能力和抽气特性产生影响。国内对保温泵系统的故障也曾经进行了初步的研究但内容还远不能满足解决大量实际问题的需求。

目前国内引进的保温泵越来越多,培养一个熟练掌握保温泵性能的维修人员,不但需要大量的理论培训,而且需要长时间的实践训练,成本高、周期长。虽然保温泵维修手册中包含了一些故障处理方面的内容,但并不全面和具体,远不能满足技术人员在实际维护中的需要。上海正奥泵业制造有限公司实践经验的总结,是对保温泵维护手册的补充,可为使用保温泵的科技人员提供一些现场检修的实际指导,对提高检修效率降低检修成本有一定的实用意义。